輪廓儀技術(shù)規(guī)格

 技術(shù)規(guī)格

技術(shù)參數(shù)	線性精度1	±（1.5+|0.2H|）μm
	圓弧2	±（2+R/8）μm
	角度3	±2′
	直線度4	0.8μm/100mm
運(yùn)動(dòng)控制	X軸驅(qū)動(dòng)方式	電動(dòng)
	Z軸驅(qū)動(dòng)方式	電動(dòng)
	X軸驅(qū)動(dòng)速度	0.1~10mm/s
	Z軸驅(qū)動(dòng)速度	0.5-10mm/s

 

注：1、H為水平位置上的測(cè)量高度；2、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°；3、60°、90°的角度塊，角邊取樣長(zhǎng)度為5mm；4、λc為2.5mm，測(cè)量速度為≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°6、以上參數(shù)均在20℃±5℃，階梯溫度不超過(guò)2℃/h的環(huán)境下測(cè)得；7、地面震動(dòng)大RMS  

＜50HZ  2.5μm/s /＞50HZ  5.0μm/s。